光解氧化除臭設備利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解惡臭氣體如：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，VOC類，苯、甲苯、二甲苯等的分子鏈結構，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，裂解轉變為離子。利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧。臭氧對有機物具有*的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有*的清除效果。由高能紫外光催化氧化產生的極少的氮氧化物和部分未被分解氧化的惡臭氣體為化學過濾器吸附吸收，達標后凈化氣體直接排入大氣。
它自動化程度高，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，對于部分化工生產的不連續性，可以在生產時開啟，不生產的間隙停止運行，大量的節約能源；它的運行成本較低，比常用的蓄熱式燃燒爐RTO節約運行費用5-8倍，每立方米氣量運行費用僅為0.3～0.9分錢；具有應用范圍廣，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到國家標準；可以達到廢氣凈化，本設備能去除揮發性有機物(VOC)、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率可達98%以上；具有廣譜性，能夠處理高濃度、成分復雜、易燃易爆及含有大量水分、固態、油狀物的工業廢氣，實現達標排放。
